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清洗去膠系統(tǒng)

等離子去膠清洗及灰化系統(tǒng) 單晶圓/掩模版兆聲清洗機(jī) 大基片清洗/去膠/濕法刻蝕 MW微波等離子清洗去膠系統(tǒng) 離子束清洗系統(tǒng) 研發(fā)用等離子去膠機(jī)

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Q150微波等離子去膠清洗機(jī)

Q150微波等離子去膠清洗機(jī)：Q系列等離子清洗機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng)，可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理，也可以作為單片處理，系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)。
典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除；干法刻蝕工藝的前處理或后處理；MEMS制造中的犧牲層去除。
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- 廠商性質(zhì)：代理商
- 更新時(shí)間：2025-09-17
- 訪問(wèn) 量：2845
立即咨詢
聯(lián)系電話：021-62318025
產(chǎn)品詳情
微波等離子清洗去膠技術(shù)
Q150微波等離子去膠清洗機(jī)概述：Q系列等離子清洗機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng)，可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理，也可以作為單片處理，系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除；干法刻蝕工藝的前處理或后處理；MEMS制造中的犧牲層去除。
Q150微波等離子去膠清洗機(jī)工藝參數(shù)：
- 材質(zhì)：石英玻璃
- 容積：6公升
- 腔體尺寸：直徑150mm，深度260mm
- 腔體后部：鋁
- 腔門：鋁質(zhì)材料制作，抽拉式支撐架跟前門相連，便于手動(dòng)放片；
- 氣體分布：前門擴(kuò)散
- 觀察視窗：防紫外及微波
- 支撐架：鋁質(zhì)材料，
- 真空連接：DN25 ISO-KF
- 壓力控制：Pirani，1-100Pa
- 真空泵：推薦25m3/h
- 真空閥：電子氣動(dòng)閥，DN25 ISO-KF
- 真空密封：硅樹脂
- 氣體供應(yīng)：
- 氣體通道：1路數(shù)字MFC，裝有電磁閥，500sccm（N2校準(zhǔn)），1/4" Swagelok接頭
- 卸壓：電磁閥，1/4" Swagelok接頭
- 功率：2.45GHz，50-600W連續(xù)可調(diào)
- 耦合：微波天線，鋁質(zhì)諧振器，腔體內(nèi)無(wú)電極
系統(tǒng)控制：
- PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
- 7”觸摸屏、圖形用戶界面
- Windows Office兼容
- 存儲(chǔ)處理數(shù)據(jù)和錯(cuò)誤信息，處理數(shù)據(jù)輸出
- 工藝參數(shù)圖形曲線的監(jiān)測(cè)
- 自動(dòng)或手動(dòng)操作
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