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等離子刻蝕反應(yīng)離子刻蝕一體機(jī)又叫等離子蝕刻機(jī)、等離子平面刻蝕機(jī)、等離子體刻蝕機(jī)、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子刻蝕,是干法刻蝕中zui常見的一種形式,其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體,由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。某種程度來講,等離子清洗實質(zhì)上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。進(jìn)行干式蝕刻工藝的設(shè)備包括反應(yīng)室、電源、真空部分。工件送入被真空...
NANO-CHINA那諾中國正式推出。我們將持續(xù)更新我們的產(chǎn)品資料,敬請關(guān)注。
那諾中國在化工儀器網(wǎng)正式落戶,并建設(shè)相應(yīng)的個性化NANOCHINA17。隨著產(chǎn)品的陸續(xù)發(fā)布,那諾中國也正式展開了行業(yè)推廣的步伐。
祝賀Nano-Master(那諾-馬斯特)公司新近研發(fā)的LSC系列大型全自動分劃板清洗機(jī)已在美國售出。該套系統(tǒng)作為帶保護(hù)膜分劃板無損清洗的系統(tǒng)的正式售出,代表了NANO-MASTER無損兆聲清洗的技術(shù)在工業(yè)化量產(chǎn)上的真正成功,實現(xiàn)了計算機(jī)全自動控制、全自動上下載片、無損兆聲清洗技術(shù)的結(jié)合。
2015年7月,湖北文理學(xué)院NRE-3500反應(yīng)離子刻蝕/等離子刻蝕雙功能系統(tǒng)順利完成驗收。
那諾中國所屬nanochina17.com正在積極建設(shè)中并將于近期推出,敬請期待!
Nano-Master公司研發(fā)的兆聲晶圓清洗/掩模板清洗機(jī)(SWC系列),近期在中國完成兩套設(shè)備的安裝。
祝賀:那諾-馬斯特中國有限公司(Nano-MasterChinaco.,limited)于二零一五年四月十七號正式注冊成立,區(qū)域總部設(shè)立在上海,公司在大中華區(qū)的各項業(yè)務(wù)正常運營!
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